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燒結(jié)真空爐的日常應(yīng)急方法

發(fā)布日期:2023-09-02

  燒結(jié)真空爐主要用于半導(dǎo)體元件和電力整流器件的燒結(jié)過程,可用于真空燒結(jié)、氣體保護燒結(jié)和常規(guī)燒結(jié)。是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中的一種新型工藝設(shè)備。

  它的設(shè)計構(gòu)思新穎,操作方便,結(jié)構(gòu)緊湊,可以在一臺設(shè)備上完成多個工藝流程。也可用于其他領(lǐng)域的真空熱處理、真空釬焊等工藝。下面,小編將介紹真空燒結(jié)爐的應(yīng)急措施。

  真空燒結(jié)爐冷卻水異常。

  1.確認(rèn)加熱電源已停止。

  2.如果爐外漏水,冷卻水量異常,應(yīng)盡快采取應(yīng)急措施。如果能保證水量,請繼續(xù)保持真空。如果不能采取應(yīng)急措施,保持原狀,確認(rèn)設(shè)備冷卻。

  3.冷卻水異常時,設(shè)備停止,立即連接緊急冷卻水。

  4.在高溫下(超過200℃視為高溫),如果冷卻水停止,如果不能緊急送水,可能會損壞水冷電極、換熱器、真空室外殼和泵。

  停電

  1.停電時,若斷水,應(yīng)立即連接備用冷卻水,連接水源。

  2.如果在非加熱、加熱、冷卻時能盡快恢復(fù),重新啟動設(shè)備,如需長時間繼續(xù)運行,則將設(shè)備保持原狀。

  3.如果在加熱和冷卻時能盡快恢復(fù),則重新啟動設(shè)備。如果需要很長時間,保持原狀,使設(shè)備自然冷卻。

  加熱電源斷電。

  1.當(dāng)水壓低于0.15MPa時,壓力表報警。

  2.接地故障。

  3.真空放電,水冷電極接頭要與加熱器連接牢固,與反射屏絕緣良好。

  4.如果爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa(這種真空度容易放電)。電源故障和斷電的原因可以認(rèn)為是電介質(zhì)擊穿引起的放電。


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