雙室油淬氣冷真空爐克服了高溫真空狀態(tài)下硅煙氣體易與碳纖維發(fā)生反應，碳纖維制成的保溫套管失去保溫效果的問題，爐體由外向內(nèi)設有爐套和隔熱套，爐體與爐套之間有隔熱層。

　　絕緣套管的內(nèi)、外表面設有石墨套管，使絕緣套管不直接面對硅粉氣體，燒結(jié)材料支撐架與石墨套筒固定連接，防止燒結(jié)材料支撐架通過分離器，有效地保護了絕緣套管，防止其絕緣效果喪失。

　　作為改進，石墨套管、燒結(jié)料架和電加熱體表面均涂有0.3-0.8mm厚的氮化硼層，石墨套的作用是為燒結(jié)料架提供支撐，并從隔熱罩中排出硅氣，但在高溫真空條件下，硅和石墨也能發(fā)生反應，氮化硼層是為了防止硅氣與石墨進一步發(fā)生反應。

　　燒結(jié)材料支撐架和電加熱體可提高部件的使用壽命，作為進一步改進，空氣泵可以在爐體外部提供循環(huán)冷卻介質(zhì)，空氣泵與絕緣材料連接。