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雙室油淬氣冷真空爐投入使用的要求和標準

發(fā)布日期:2020-12-26

  雙室油淬氣冷真空爐克服了高溫真空狀態(tài)下硅煙氣體易與碳纖維發(fā)生反應,碳纖維制成的保溫套管失去保溫效果的問題,爐體由外向內(nèi)設有爐套和隔熱套,爐體與爐套之間有隔熱層。

  絕緣套管的內(nèi)、外表面設有石墨套管,使絕緣套管不直接面對硅粉氣體,燒結(jié)材料支撐架與石墨套筒固定連接,防止燒結(jié)材料支撐架通過分離器,有效地保護了絕緣套管,防止其絕緣效果喪失。

  作為改進,石墨套管、燒結(jié)料架和電加熱體表面均涂有0.3-0.8mm厚的氮化硼層,石墨套的作用是為燒結(jié)料架提供支撐,并從隔熱罩中排出硅氣,但在高溫真空條件下,硅和石墨也能發(fā)生反應,氮化硼層是為了防止硅氣與石墨進一步發(fā)生反應。

  燒結(jié)材料支撐架和電加熱體可提高部件的使用壽命,作為進一步改進,空氣泵可以在爐體外部提供循環(huán)冷卻介質(zhì),空氣泵與絕緣材料連接。


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