退火真空爐包括設置在爐管內(nèi)的石英管，爐管前后兩端，其前端蓋和后端蓋，石英管加熱腔在爐管外壁和內(nèi)壁之間形成，石英管與前端蓋和反應腔之間形成端蓋。

　　管內(nèi)風冷吹掃組件包括進氣管、吹掃管和吸入管，進氣管和吸入管設置在后端蓋上，吸入管和反應室連通，吹掃管設置在反應室中，吹掃管的一端與進氣管連通，另一端延伸至前端蓋附近。

　　吹掃管包括連接部、盤管部和延伸部，連接部與進氣管連接，盤管部與連接部連接并位于后端蓋附近，延伸部一端與盤管部連接，另一端延伸至前端蓋附近。

　　在這種結(jié)構中，氮源氣體通過管中的風冷吹掃組件進入反應室的前端，氮氣從反應室的前端流到后端，吸收大量熱量，然后從管內(nèi)的風冷吹掃組件中抽離，從而實現(xiàn)對整個反應室的快速冷卻效果。