雙室油淬氣冷真空爐克服了硅煙氣在高溫真空狀態(tài)下容易與碳纖維發(fā)生反應(yīng)，而碳纖維制成的保溫套失去了保溫效果的問題，爐體由外到內(nèi)設(shè)有爐套和隔熱套，爐體與爐套之間設(shè)有保溫層。

　　絕緣套管內(nèi)外表面均設(shè)有石墨襯套，使絕緣套管不直接面對硅粉氣體，燒結(jié)材料支撐架與石墨襯套固定連接，防止燒結(jié)材料支撐架通過分離器，有效保護(hù)絕緣套管，防止其絕緣效果喪失。

　　隨著改進(jìn)，石墨套、燒結(jié)材料和電熱體表面涂有0.3-0.8mm厚的氮化硼，石墨套的作用是為燒結(jié)材料提供支撐，隔熱罩去除硅，但在高溫真空條件下，硅和石墨也能發(fā)生反應(yīng)，氮化硼層是防止氣體和硅石墨進(jìn)一步反應(yīng)的。

　　燒結(jié)材料支撐架和電熱體可延長構(gòu)件的使用壽命，作為進(jìn)一步改進(jìn)，空氣泵可在爐體外提供循環(huán)冷卻介質(zhì)，空氣泵連接至保溫材料，以上所述希望可以給大家?guī)�來幫助�?/p>