新型燒結(jié)真空爐克服了硅灰氣體在高溫真空狀態(tài)下易與碳纖維發(fā)生反應(yīng)，碳纖維制成的保溫套管失去保溫效果的問題，爐體包括圓筒狀爐體，圓筒狀爐體由外向內(nèi)設(shè)有爐套和隔熱套，爐體與爐套之間設(shè)有隔熱層。

　　石墨套設(shè)置在絕緣套的內(nèi)表面，使絕緣套不直接面對硅粉氣體，燒結(jié)料支撐架與石墨套固定連接，防止燒結(jié)料支撐架穿過隔板，本實(shí)用新型有效地保護(hù)了絕緣套管，防止其失去絕緣效果。

　　作為改進(jìn)，石墨套、燒結(jié)料架和電加熱體表面涂有0.3-0.8mm厚的氮化硼層，石墨套的作用是為燒結(jié)料架提供支撐，并從隔熱套管中排出硅氣，但在高溫真空條件下，硅和石墨也能發(fā)生反應(yīng)，氮化硼層是為了防止硅氣體進(jìn)一步與石墨發(fā)生反應(yīng)的套筒。

　　燒結(jié)材料支撐架和電熱體可延長部件的使用壽命，作為進(jìn)一步的改進(jìn)，在爐體外部設(shè)置有空氣泵以提供循環(huán)冷卻介質(zhì)，空氣泵與隔熱材料連通。